簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "趙崇禮".ccommittee (精準) and year="107"


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    乙二胺四乙酸溶液輔助複線式鑽石線鋸加工製程於鉭酸鋰晶圓之研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 蔣易達   指導教授： 陳炤彰
    • 鉭酸鋰晶圓(Lithium Tantalate, LT)於材料上具有獨特優異的焦電(Pyroelectric)、壓電(Piezoelectricity)和電光(Electro-optic)等特性，此…
    • 點閱：269  下載：1 

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    銅化學機械平坦化之軟拋光墊性能指標分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 蕭百成   指導教授： 陳炤彰
    • 隨著半導體元件金屬導線製程不斷微細化追求更高解析度的技術。化學機械拋光平坦化(Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)不斷面臨許多挑戰。CM…
    • 點閱：219  下載：1 

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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓之化學機械拋光製程分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 林妤靜   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在高功率元件裡相較於單晶單化矽(Silicon)具有高崩潰電壓高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率，然而單晶碳化矽具有高硬度(Mohs 9.2)…
    • 點閱：377  下載：1 
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